技术编号:12347472
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。:本发明涉及一种抽气设备,尤其是一种气相沉积膜设备用抽气陶瓷环。背景技术:气相沉积膜设备在沉积时控制密封腔室内需保持一定范围的压力,需要通过抽气设备进行抽气,使腔室达到指定负压力值。目前没有专用的设备进行这种操作,普通的抽气装置一般很难控制气体均匀的抽出。发明内容:针对上述现有技术的不足,本发明提供了一种气相沉积膜设备用抽气陶瓷环。为实现上述目的,本发明采用的技术方案是:气相沉积膜设备用抽气陶瓷环,包括环形的陶瓷环,在陶瓷环上均布抽气小孔,抽气小孔的内壁为圆角。优选的,所述的抽气小孔为12至48...
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