技术编号:12347482
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于金刚石涂层微刀具热丝法化学气相沉积设备的电极系统,属于化学气相沉积金刚石涂层技术领域。背景技术微刀具的特征尺寸很小,其直径一般在几微米到几百微米之间。硬质合金材料的微刀具普遍具有切削性能差、耐磨性差、刀具寿命短、加工零件表面质量低等缺陷。通过改变刀具材料来提高刀具的切削性能是解决该问题的有效途径之一。作为一种超硬刀具材料,金刚石具有优异的性能,在切削刀具领域占有非常重要的地位。化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition,CVD)法制备金刚石薄膜是利用氢气和甲烷...
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