技术编号:12347818
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及晶体材料,特别涉及一种高导电性钽酸锂晶体基片的黑化处理方法。背景技术钽酸锂晶体(分子式LiTaO3,简称LT晶体),作为声表面波滤波器的衬底材料,具有机电耦合系数大、频率温度系数小、插入损耗低等突出的优点,广泛应用于高频(2GHz附近)频域SAW滤波器件中,在智能手机以及其它高端智能便携式通讯电子终端产品中具有巨大的市场前景。LT晶体一般采用感应铱坩埚提拉法(Czochralski法)在通氮气与氧气混合气氛下生长,生长降温结束后LT晶体从炉膛取出(参见AlbertA.Ballman:J...
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