技术编号：12353510
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种含有气凝胶的气体储存和分配的装置，属于特种气体存储、分配和应用领域。背景技术半导体材料及芯片制造过程常会使用具有极强危害性及毒性的气体，而此类气体通常是液化或者高压储存、运输和使用。以高压方式储存一旦发生泄漏，会使得漏点附近的工作人员遭受严重伤害直至死亡。故1993年起，美国高级技术材料公司(AdvancedTechnologyMaterials，Inc.，ATMI)基于物理吸附或是化学键等方式束缚气体分子，使钢瓶内压力得以降低至负压(即低于1个大气压)，从而实际降低气体意外泄漏的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。