技术编号:12356383
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及MEMS振动陀螺,具体是一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构。背景技术MEMS振动陀螺是基于科里奥利效应的一种惯性传感装置,可以检测旋转物体的角度或角速度。MEMS振动陀螺具有体积小、质量轻、功耗低、可批量生产、价格便宜等优点,可以广泛应用于武器制导、航空航天、汽车工业、生物医学、消费品电子等领域,具有极其广泛的应用前景。MEMS振动陀螺的工作原理如下:MEMS振动陀螺有两个谐振频率相同的固有四波腹弯曲振动模态,可以将其中的一个弯曲振动模态用作驱动模态,另一个弯曲振动模...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。