技术编号:12356556
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造技术,具体涉及具有自检测功能的电容式复合传感器及其制造方法。背景技术目前电容式加速度和压力复合传感器在汽车胎压监测中有广泛的应用,以提高车辆行驶的安全性。电容式加速度和压力复合传感器需要具有晶圆级自检测功能,以降低检测成本,由于压力传感器的晶圆级自检测业界已有成熟的带温控压力腔的探针台这样的成熟标准化设备,其晶圆级自检测已经很成熟,主要是加速度传感器晶圆级自检测需要加速度输入,比较困难,虽然业界也出现了一些具有晶圆级自检测功能的加速度和压力复合传感器,但具有晶圆级自检测功能的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。