技术编号:12356821
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种亮度校正方法以及光学检测系统。背景技术已知的光学检测系统所使用的单光源照射器通常会有均匀性问题。正常来说,单光源照射器所照射的光线在中央部分的光强度会大于外围部分的光强度。若已知的光学检测系统所使用的探针卡为多待测物(multi-DUT)探针卡,则探针卡的每一个检测位置所接收到的光线的亮度将不尽相同。为了解决此问题,已知的光学检测系统是进一步在每一检测位置上方设置扩散片,以使光线均匀化。然而,扩散片之间往往也会有表现上的差异(例如透明度上的差异),这取决于制程上的均匀性或批与批...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。