技术编号:12359363
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体检测技术领域,更具体地,涉及一种石墨烯探针感测单元的远程芯片检测系统。背景技术随着半导体制造技术的飞速发展,半导体器件为了达到更快的运算速度、更大的数据存储量以及更多的功能,半导体晶片朝向更高的元件密度、高集成度方向发展,栅极变得越来越细且长度变得较以往更短。因此形成栅极的图案化精度更高。为了保证表面平坦性,在形成栅电极的时候,最好形成伪栅电极,以使得栅电极的分布均匀。在布置通孔和局部互连凹槽的时候最好分布伪局部互连,这样的伪结构区通常通过自动计算来设计。但是,这样的结构在用于测...
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