技术编号：12360348
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电光调制，特别是一种硅基注氧电容型电光调制器。背景技术硅基光子器件凭借其低功耗、低成本、微型化、与传统微电子加工工艺兼容等优势，成为未来光通信技术发展中不可或缺的一部分。作为光传输网络中电光转换的关键器件之一，调制器一直以来都是研究者们关注的热点，其性能的好坏将直接影响整个光通信系统的优劣。现有的硅基调制器大都基于自由载流子色散效应，即改变硅波导中自由载流子浓度来改变波导的有效折射率，实现光传输相位的调制；另外，对波导进行不同浓度的掺杂及改变载流子扩散或漂移速率，可以同时提高调制器的调...
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