技术编号：12360405
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种TFT-LCD制造工艺中的双面刻蚀方法技术领域本发明涉及微电子加工领域，具体而言，涉及一种TFT-LCD制造工艺中的双面刻蚀方法。背景技术目前，在平板显示(FlatPanelDisplay，简称FPD)技术中，由于液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，简称LCD)具有轻薄短小，节省摆放空间等优点，已经逐渐取代阴极射线管(CathodeRayTube，简称CRT)，成为主流的显示器。在各种类型的LCD中，薄膜场效应晶体管液晶显示器(ThinFilmTransistor-Liqu...
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