技术编号：12360614
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及掩膜版维护保养技术领域，尤其涉及一种掩膜版清洁装置。背景技术TFT-LCD(ThinFilmTransistorLiquidCrystalDisplay，薄膜晶体管-液晶显示器)作为一种平板显示装置，因其具有体积小、功耗低、无辐射以及制作成本相对较低等特点，而越来越多地被应用于高性能显示领域当中。薄膜晶体管-液晶显示器由阵列基板和彩膜基板对盒构成。在阵列基板和彩膜基板的工艺制程中，例如制作TFT的源极、漏极等均需要通过曝光刻蚀等构图工艺具体实现，光线透过掩膜版上预设的透光图案对置于掩膜...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。