技术编号:12361245
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体加工设备,尤其涉及单臂组合设备中多品种晶圆混合加工的稳态调度方法。背景技术现有组合设备是晶圆制造过程中最为关键的一类设备,其独特的单晶圆加工技术能有效地提高晶圆制造的生产率和产品质量。但是,限于诸多约束条件和复杂工况,组合设备的调度和运行控制非常困难。长期以来,组合设备的调度与控制问题一直是学术界和工业界的热点问题。深入研究组合设备在不同生产需求环境下的运行控制问题,不仅有利于提高晶圆厂的生产效率,而且能给组合设备的研发设计提供有效的理论支持。组合设备通常由2-6个加工模块(pr...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。