技术编号:12367490
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及平坦化加工技术领域,更具体地,涉及一种化学机械抛光机及用于其的抛光组件。背景技术相关技术中的化学机械抛光机,通常设有一个抛光头,通过抛光头的平移在抛光工位和装载工位之间切换。抛光头在执行装卸晶圆时,抛光盘只能闲置,加上晶圆的装卸与传送耗时较长,化学抛光机的整体工作效率较低。发明内容本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此,本发明提出了一种用于化学机械抛光机的抛光组件,所述抛光组件中一个抛光头组件进行抛光时,另一个抛光头组件可以执行装卸晶圆,两个抛光头组件可以交替抛光...
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