技术编号:12369564
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种射频微机电开关(RFMEMSswitch)技术领域,尤其涉及一种基于表面半导体工艺的射频微机电开关及其制备方法。背景技术RFMEMS开关在插入损耗、隔离度、频率和线性等方面具有优异的性能,在卫星通信、导航和雷达等系统中得到了广泛应用。与传统的PIN及FET微波开关器件相比,MEMS开关不但具有高隔离度、低损耗、低插损、高线性度等优异的微波性能,同时具有批量制作、易于与先进的微波、射频电路相集成的特点,是实现小型化,低成本,高性能的微波收发前端系统的关键技术。RFMEMS开关按机械结...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。