技术编号:12369743
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体技术领域,具体涉及一种改善多孔硅纵向物理结构和光学特性均匀性的方法。背景技术1990年,Canham发现多孔硅在室温下发出可见光,这个发现为多孔硅的研究开辟了新纪元,即室温下发光多孔硅研究阶段;多孔硅在室温下的发光展示了硅在光电子学、光学器件以及显示技术等方面广阔的应用前景。1996年,以多孔硅为基础材料的光电集成电路的实现使得这种前景更加有吸引力,但由于其发光性能一直没有得到有效改善,多孔硅发光和器件的研究及应用一直没有取得明显进展,也很少有文献对多孔硅的微结构对其光学特性的影...
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