技术编号:12370088
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体集成电路领域,具体涉及一种半导体集成电路螺旋电感。背景技术在现有半导体集成电路多层金属布线工艺,如SiGeBiCMOS、BiCMOS或CMOS工艺中,因为射频设计和高集成度需要,常常需要兼容集成片上无源电感,为了提高这种片上无源电感性能,就需要这种电感具有较低损耗和较高的电感品质因素。然而,现有的普通半导体集成电路中无源电感的品质因素较低。发明内容本发明提供一种半导体集成电路螺旋电感,以解决目前半导体集成电路螺旋电感品质因数较差的问题。根据本发明实施例的第一方面,提供一种半导体集...
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