技术编号:12370402
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于薄膜晶体管的制作技术领域,具体地讲,涉及一种低温多晶硅薄膜晶体管及其制作方法、液晶面板及显示器。背景技术随着光电与半导体技术的演进,也带动了平板显示器(FlatPanelDisplay)的蓬勃发展,而在诸多平板显示器中,液晶显示器(LiquidCrystalDisplay,简称LCD)因具有高空间利用效率、低消耗功率、无辐射以及低电磁干扰等诸多优越特性,已成为市场的主流。目前,作为LCD的开关元件而广泛采用的是非晶硅薄膜三极管(a-SiTFT),但a-SiTFTLCD在满足薄型、轻量、...
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