技术编号:12370403
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体器件制造技术领域,尤其涉及一种氧化物薄膜晶体管的制备方法,该氧化物薄膜晶体管主要应用于显示装置的阵列基板中。背景技术平板显示装置具有机身薄、省电、无辐射等众多优点,得到了广泛的应用。现有的平板显示装置主要包括液晶显示装置(LiquidCrystalDisplay,LCD)及有机电致发光显示装置(OrganicLightEmittingDisplay,OLED)。薄膜晶体管(ThinFilmTransistor,TFT)是平板显示装置的重要组成部分,可形成在玻璃基板或塑料基板上,通...
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