二极管阳极结构、纵向二极管以及横向二极管的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12370434

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本发明实施例涉及半导体技术领域,尤其涉及一种二极管阳极结构、纵向二极管以及横向二极管。背景技术在高压开关应用领域中,为了提高效率降低损耗,要求二极管具有反向漏电小、反向耐压大和正向导通压降小的特性。基于宽禁带半导体材料,特别是氮化镓材料的功率电子器件具有优越的特性。因此,氮化镓肖特基二极管近年来逐渐成为研究的热点。众所周知,PN结二极管的正向压降大,因此其导通损耗大,但是其反向漏电流小,关态损耗小。肖特基二极管则具有正向压降小,反向漏电大的特点。此外肖特基二极管由于不存在少子存储效应,与PN结二...
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