一种高机械品质因子的薄膜谐振子实现装置的制作方法技术资料下载

技术编号:12374613

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本发明涉及量子光力学和声学领域,具体是一种高机械品质因子的薄膜谐振子实现装置。背景技术高张力氮化硅薄膜谐振子由于其对激光的极低吸收系数以及较高的机械品质因子,已成为腔光力学研究领域的重要器件。基于可分辨边带冷却的方案,氮化硅薄膜谐振子目前已经被冷却到接近乃至达到量子基态,并已经被应用于压缩光场的产生,引力波探测,微波与光场的高效相互转换等领域。值得注意的是,在目前已经开展或即将开展的实验工作中,薄膜谐振子的机械品质因子是一个非常重要的技术指标,高的机械品质因子是实现相关应用的前提条件。目前,覆盖...
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