使用双面电容传感元件的双输出差分压力传感器的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12381368

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使用双面电容传感元件的双输出差分压力传感器相关申请的交叉引用本申请要求于2014年1月17日提交的题为“使用双面电容传感元件的双输出差分压力传感器”的美国专利申请No.14/158213的优先权,该专利申请的全部内容通过引用并入本文。背景技术电容压力转换器使例如通过流体施加到其隔膜的压力变化转变为对应的电容变化以实现压力测量。在隔膜的后面是具有平行偏置导电板的压力腔,该导电板组成可变电容器以探测由于施加到隔膜上的压力造成的应变,其中平行偏置导电板的一个处于相对于隔膜固定的位置,另一个则附着到隔膜...
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