技术编号:12390020
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于多晶硅生产技术领域,特别涉及一种多晶硅底板专用石墨的生产工艺。背景技术随着工业的发展,高纯石墨的用途日渐广泛,涉足的领域不断的扩大,针对不同的行业特点,生产设和专一用途的石墨已经迫在眉睫了;对于下游客户来说,不但能降低他们的生产成本,提高了产品的使用寿命,而且可以降低工人的劳动强度,减少了工作人员的更换频率,随着多晶硅的需求日益增加,有必要开发一种专门针对多晶硅底板专用石墨。发明内容本发明的目的是为了克服现有技术的不足,而提供一种具有减低工人的劳动强度、提高产品使用寿命、降低生产成本的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。