技术编号:12392277
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种水处理设备领域,具体涉及一种超纯水生产系统及其生产方法。背景技术超纯水,是电阻率达到18MΩ*cm(25℃)的水。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化或者一些化工制备过程中的水汽源等。车用尿素是柴油车尾气处理装置中一个必不可少的试剂,在车用尿素的混配和制备过程中,必须要用超纯水,因为一般的水中含有大量的金属离子和氯化物,会影响尾气处理装置的感应器探头的灵敏度甚至导致设备的损坏。现有技术中制备超纯水通常都会将原水进行多道过滤,并检测每道过滤...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。