技术编号:12393940
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种石墨烯生产设备,具体地说,是一种卷对卷石墨烯薄膜连续生长设备。背景技术石墨烯是由碳原子构成的只有一层原子厚度的二维晶体,是目前自然界最薄、强度最高的一种新材料。而石墨烯薄膜生产方法是将含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸汽及反应所需其它气体引入反应室,在衬底表面发生化学反应生长薄膜。目前常用的石墨烯薄膜生产设备是将衬底材料放入其中,在沉底材料上生长出石墨烯薄膜后,将其取出,然后再放入新的沉底材料,进行下一次的石墨烯薄膜生长。这种生产方式工作效率低,需要多次取放,而且由于...
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