技术编号:12399958
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。降冰片烯类、八氟环戊烯和N-苯基马来酰亚胺三元共聚催化剂以及三元共聚方法技术领域本发明涉及到高聚物领域,具体指一种降冰片烯类、八氟环戊烯和N-苯基马来酰亚胺三元共聚催化剂以及三元共聚方法。背景技术聚降冰片烯是一种特殊的聚合物,具有优良的力学性能、耐热性、在有机溶剂中的可溶性及透明性,可用于193nm紫外光光刻。这一材料主要缺点是脆性、粘性差和分子量低等。将全氟烯烃插入聚降冰片烯主链中后,可提高聚合物的粘结性和可溶性,并且降低材料本身的吸光率。这种共聚物可作为光阻材料应用于193nm影印技术。而且...
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