一种基于MEMS振动能量采集器的无线传感器微电源的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12409361

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本实用新型涉及微能源与自供能的微无线传感器领域,具体涉及一种基于MEMS振动能量采集器的无线传感器微电源。背景技术作为感知物理世界信息重要组成部分的传感器,目前主要通过传统电池或电源供电,但传统电池供电方式因其寿命短、更换不便、更换费用较高、易污染环境等大大限制了微型传感器的发展与应用。MEMS压电式振动能量采集器具有能量转化效率高、结构简单、并具备小型化、寿命长、无污染、易集成等优点,可将其与微型传感器集成在一起形成微电源,进而使得传感器系统从外在电源的束缚中释放出来,完全实现能量的自给自足,...
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