技术编号:12415796
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于涂层制备技术领域,具体涉及一种能够在微波等离子体环境下对微球表面均匀涂层的微球驱动装置。背景技术在科学或工业生产中,特别是惯性约束聚变研究中,需要采用微波等离子体化学气相沉积方法在各种微球(直径为毫米级)表面均匀涂镀金刚石等不同材料的涂层,并对相应涂层的表面质量有非常高的要求。目前,有较多关于在微球表面涂层的驱动装置的专利报道,如授权公告号为CN200998706Y的专利文献公开了一种微粒涂覆振荡装置,摆动杆上设置支点,摆动杆的两端分别连接偏心轮和盘,电机带动偏心轮转动使摆动杆绕着支点...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。