技术编号:12416636
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于机械技术领域,涉及一种清洗机,特别是一种新型多晶硅片清洗机。背景技术当前硅片清洗工艺一般需要引入化学药液来完成对硅片的清洗,传统的清洗工艺一般是将硅片固定在清洗桶内,接着通过设于清洗桶上方的喷头对往硅片表面喷射常温化学药液来达到清洗的效果。但该工艺过程中,化学药液容易受到空气的影响,导致硅片清洗的效果也不理想。实用新型内容本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题,提出了一种新型多晶硅片清洗机,解决的技术问题是如何提高清洗效果。本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现:一种新型多...
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