技术编号：12416688
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种超声波清洗装置，尤其是一种直拉单晶回收料的超声波清洗装置。背景技术直拉单晶工艺，拉制的单晶为横截面为圆形的棒体，通过截断、开方才能做成后续要求的直角方棒或圆角方棒。每一段圆棒单晶经过开方后都会产生长度相同的4块边角料，边角料无法直接回收投炉，因为其表面粘有大量的砂浆、胶类杂质。对于这种直拉单晶回收料的清洗，不管是采用酸洗(硝酸、氢氟酸)、碱洗(氢氧化钠)、还是采用其他化学试剂的清洗方法，其化学物质的残留均会对硅料的外观质量产生不利影响。超声波清洗装置适合于去除这种化学清洗产生的...
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