技术编号：12429606
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种专门适用于弹性流体的泵或泵送系统的零件、部件或附件，特别是涉及一种新型活塞式工艺压缩机。背景技术随着多晶硅生产工艺技术的改进，多晶硅行业压缩机的增压压力不断提高。通常情况下，活塞式工艺压缩机在压力较高时，都采取填料装置单独通水冷却的结构。如图1至图5所示，为现有活塞式工艺压缩机及其中的填料组件的结构示意图。主机底撬组件13＇上从左至右依次设置有相互连接的气缸组件一2＇、接筒一6＇、内设曲轴组件10＇的机身组件9＇、接筒二61＇、气缸组件二21＇，其中，气缸组件一2＇、气缸组件二21...
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