技术编号:12430819
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种紧凑型蒸发炉,用于解决铜炉对硒炉的影响。背景技术铜铟镓硒太阳能电池制备过程中需要用到热蒸发,铜、铟、镓、硒四种单质在不同温度下分阶段蒸发,而铜的蒸发温度相对于硒的蒸发温度很高,现有的紧凑型的蒸发炉,因硒炉的坩埚距离铜炉很近,容易受到较大影响,因而硒蒸发速率难以控制,而且硒炉的喷管的温度在600度左右,部分热点通过热传导的方式会干扰到坩埚。实用新型内容本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的上述不足,而提供一种结构设计合理,能实现蒸发炉小型化的紧凑型蒸发炉。本实用新型解决上述问题...
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