技术编号：12440471
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种微纳操作用并行位姿调整平台和方法，属于微机电一体化技术、微纳操作技术领域。背景技术扫描电子显微镜因其具有纳米级分辨率、甚至亚纳米级分辨率，同时，在对样品形貌观测和成分分析方面具有的优越性能，因此成为了现代纳米科技分析领域的必备仪器。在观察样品形貌或成分分析时，所用承载样品的平台大多已标准化，更换样品时多采用合适的样品平台，而且需开启扫描电镜真空腔进行手动更换，长期反复会导致设备真空度下降及平台磨损，从而增大设备维护和检修费用。随着微机电技术的不断发展，基于扫描电子显微镜对微纳米级...
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