技术编号:12441363
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种氨气提纯技术,具体涉及一种基于膨胀制冷提纯氨气的装置及用该装置提纯氨气的方法,可用于LED行业的氨气回收提纯。背景技术高纯氨作用在大阳能行业中为氮化硅薄膜提供氮源、以及集成电路制造、化合物半导体、液晶显示器及更好地为清洗硅片而提供洁净的工艺气体氨气;高纯氨作为电子行业的原材料,其产品的质量至关重要,直接关系到最终产品的良率,对于原材料的质量和成本与行业的发展都是有着密切的关系。目前市场多采用大型工艺生产出来的超纯氨气作为货源,而此方法价格昴贵,产品投资大,单价高。同时,氨气(NH4...
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