技术编号:12441918
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于靶材邦定技术领域,特别涉及一种新型靶材炉设备。背景技术靶材的邦定设备是由加热带,加压螺杆组成,能够满足市场的需求,但是工艺比较粗糙,容易出现邦定孔隙,会给后续产品的使用带来风险。另外,要求普通的靶材一般使用铟球焊接,来降低制造成本。但是,由于铟的熔点低,制造过程中如果温度控制过高,会使铟的液态承压顺缝隙流出。因此,如何通过温度和压力控制来解决烧结合格率低、后期使用风险高的问题是靶材邦定方法的核心技术。发明内容本发明的目的是克服以上现有技术的不足,提供一种操作简单、烧结合格率高的新型靶材...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。