技术编号：12442401
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种超声波强化螺旋微槽道除垢换热器，具体涉及一种利用超声波空化机理强化微槽道换热及防垢、除垢的技术。背景技术微电子领域是最早提出微尺度流动和传热问题的工程领域，随着电子计算机容量和速度的快速发展以及导弹、卫星和军用雷达对高性能模块和大功率器件的要求，一方面器件的特征尺寸愈小愈好，已从微米量级向亚微米发展，另一方面器件的集成度自1959年以来每年以40％～50％高速度递增。随着集成度的提高，元件热流密度的增加速度将更为惊人，由此带来的过高温度会降低芯片的工作稳定性，增加出错率，同时模块内...
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