技术编号:12443563
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学检测领域,尤其涉及一种带有Offner补偿器的非球面检测光路中光学间隔非接触精密测量的系统和方法。背景技术在非球面镜加工检测过程中,经常会借助补偿器实现干涉检测。补偿器按类型可分为折射式光学补偿器、反射式光学补偿器和衍射式光学补偿器。Offner补偿器属于折射式补偿器中最常用的一种,一般由两片透镜组成,可将干涉仪发出的平面波或球面波转换成非球面波经被检非球面反射后再次经补偿器回到干涉仪,与参考光束形成干涉条纹。采用激光干涉仪配备合适F数的球面标准镜头即可实现非球面面形的干涉检测。在...
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