技术编号:12443674
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及大口径自由曲面样品表面轮廓的测量技术,具体涉及一种利用扫描透镜作为照明和成像镜头的测量大口径自由曲面样品表面形貌的装置和方法。背景技术随着自由曲面零件在现代工业中得到了越来越广泛的应用,精密加工制造行业对测量精度要求也越来越高,大口径自由曲面物体的表面轮廓测量受到越来越多的重视。对此类样品大部分采用两类检测方法,一类是非球面光学元件的检测方法,二是采用接触式测量。但这两类方法,前者不易测量自由度较多、尺寸较大的样品,后者测量速度慢,测量范围小且易损伤样品。发明内容本发明的目的是为了解决...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。