技术编号：12443790
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微纳米测量设备所需弹性簧片的制作领域，特别是涉及到微纳米测量探头弹性簧片的制作领域。背景技术在微纳测量领域，有许多微小量需要测量，如微尺寸、微位移、微振动、微应变等。而弹性簧片是微小量测量仪的关键零件，常被用来感测信号进行传递、转换、放大等。弹性簧片的精度(如尺寸精确度、边缘整齐度、表面平整度等)和灵敏度直接影响微小量测量仪的精度、灵敏度、分辨率的指标。如微纳米三坐标测量机的探头由弹性机构和三维传感器两部分组成，弹性机构由测球、测杆、悬浮片、平面反射镜、弹性簧片组成，在测量的时候，测球...
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