技术编号：12448454
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于化工技术领域，特别涉及一种由三氯氢硅生产高纯硅烷的系统及方法。背景技术高纯硅烷可用于制造多晶硅、单晶硅、微晶硅、氮化硅及各种金属硅化物等。其本身也是一种重要的电子特气，广泛应用于微电子、光电子工业。近年来随着光伏产业的迅猛发展，硅烷的需求量快速增长，因此低成本、高效率的硅烷生产技术成为产业发展的瓶颈。硅烷的制备方法有几十种之多，具有实用价值且能实现工业化的方法主要包括硅化镁法、氢化锂还原三氯氢硅法、氢化铝钠还原四氟化硅法及三氯氢硅歧化法。其中三氯氢硅歧化法最早由UCC公司提出，由氯硅烷...
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