技术编号:12450990
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是一种硅片吸笔,属于硅片制造机械设备领域。背景技术现有技术中,为了防止手上的汗渍、污渍等污染硅片表面,太阳能电池硅片制造过程中通常使用真空吸笔移动硅片,现有技术中的真空吸笔包括通气管道及与气体通气管道的一端连通的吸盘,通气管道具有手持部以及设置于手持部上的气体通孔;吸盘的中部具有圆形的内凹部,该内凹部与吸盘表面具有高度差以形成透气缝隙,使用时,用手堵住上述手持部上的气体通孔,将吸盘靠近硅片的侧面即可将硅片吸取并移至另一置放位置,松开堵住气体通孔的手指,硅片即可从吸盘上脱离,现有的吸笔很...
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