技术编号:12451750
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于检测技术领域,特别涉及一种表面缺陷检测方法。背景技术由于现代加工技术的限制,精密光学元件表面在加工过程中不可避免的会留下各类缺陷,这些缺陷泛指光学零件在抛光加工后在其表面留下的麻点、划痕、开口气泡及破边等。在实际应用中,光学元件表面存在的疵病,引起的光散射在某些情况要比其他类型的散射强度大很多,给元件造成能量吸收,有害的炫耀、衍射花纹、膜层破坏、激光损伤等。目前,能进行表面疵病检测的方法较多,常用方法有显微测量法以及近年来发展起来的激光频谱法、相干滤波成像法、暗场成像法等。上述检测方法...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。