技术编号：12452503
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及测量技术领域，具体涉及一种水分测量装置和方法、兰姆波传感器及气体湿度测量方法。背景技术目前国内测量高纯气体中水分含量主要采用电容法、电解法以及露点法等。但随着电子工业、化学工业的高速发展，这些方法的测量精度、速度已渐渐无法满足越来越严格、浓度低至10-9体积分数(ppbv)级别的超微量水分分析需求。发明人发现，压电声波传感器(如兰姆(Lamb)波传感器)在检测灵敏度、选择性、微量样品定量分析、响应时间、体积等方面具备独特优势，满足高端制造业用气中超微量水分快速、连续、在线分析与监测需求...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。