技术编号：12454452
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机电系统(MEMS)和微惯性器件测量技术，具体涉及到一种基于数字相频检测法的谐振式加速度计频率锁定电路装置。背景技术微机电加速度计是指利用微机电系统(MEMS)技术，并依据哥式效应原理工作的一类加速度计。根据敏感信号的不同，微机电加速度计可分为电容式微加速度计、谐振式微加速度计、压阻式微加速度计、压电式微加速度计和隧道电流式微加速度计。谐振式微加速度计直接将被测加速度转换为谐振器的频率变化，具有高灵敏度、较宽的动态范围、以及直接输出数字量等优势，使其成为新一代高精度微机电加速度计的发...
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