技术编号:12454496
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及测量技术领域,特别是涉及一种MEMS加速度计健康状态监测装置及监测方法。背景技术惯性导航定位技术由于具有完全自主、不依赖于卫星信号等优点,在导航、制导与控制等领域占有重要的地位。基于微机电系统(MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem)的加速度计能提供惯性定位所必需的加速度信息,且具有体积小、重量轻、成本低、易于集成等优点,是微惯性导航定位系统的核心单元。但是目前MEMS加速度计(即基于微机电系统的加速度计)的工作精度正在逐渐接近宏观尺度高精度惯性传感器的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。