技术编号:12455281
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微小电容测量电路,尤其是涉及一种基于TDC的微小电容测量电路。背景技术电容式传感器输出的电容信号往往很小(1fF~10pF),又存在传感器及其连接导线杂散电容和寄生电容的影响,这对电容信号的测量电路提出了非常高的要求,如此微小的电容信号的测量成为电容式传感器技术发展的瓶颈。电容测量电路(包括通用电容检测芯片)都有一个对传感器电容进行充放电的过程,将电容量转换为电压、电流等非电容量。目前的测量电路多数采用电荷转移法或交流法,即将电容量转换为电压或电流,电路往往受到电子开关的电荷注入效...
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