一种单片集成的光交叉连接器的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12457777

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本发明属于集成光子器件领域,更具体地,涉及一种光交叉连接器。背景技术随着诸如云计算、物联网、虚拟现实等各种新兴技术的应用,将刺激全球的通信需求进一步急速增长,这给未来高速率大容量的光通信系统提出了更大的挑战。光交叉连接器(OXC),作为易于操控的多波长路由器件,是实现低功耗高速率通信节点的可靠器件。目前,光交叉连接器已经受到世界范围的广泛研究。主要的实现技术方案,包括微机电系统(MEMS)、半导体光放大器(SOA)、波长路由、压电陶瓷(PLZT)、光相位阵列等。基于MEMS的光交叉连接器是目前应...
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