一种长程表面等离子激元波导耦合器的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12457824

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本发明涉及电子技术领域,具体是一种长程表面等离子激元波导耦合器。背景技术目前,光纤跟硅基光子器件的耦合主要采用端面耦合方式进行耦合。所谓的端面耦合是直接耦合的一种,就是把平端光纤与未处理的硅基光子器件端面直接对接,进行能量的传递。但是光纤跟硅基光子器件的模场面积不匹配,特别是硅基器件,因为硅本身的折射率是3.5左右,而组成光纤的材料的折射率一般为1.4,从光纤射出的光未经过任何处理直接耦合进波导会产生巨大的模场失配损耗,耦合效率极低。而耦合效率的高低直接决定了一个光学器件的性能。为了提高耦合效率...
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