一种红外与可见光双光融合显微镜头及装配方法与流程技术资料下载

技术编号:12458105

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本发明属于红外显微热像系统技术领域,尤其涉及一种红外与可见光双光融合显微镜头及装配方法。背景技术红外显微热像系统属显微系统,该系统集成了红外热像仪的测温功能及光学显微镜的显微放大功能,主要用于测量微小物体温度信息及红外特性,可应用于微型半导体芯片无损检测、集成电路短路故障查找、MEMS器件热成像分析、微流体热分析、显微活体红外探测、文本证件防伪识别等方向。红外显微测温属于非接触式测温,与传统的接触式测温相比,有测温速度快、不会损坏所测物体等优势。虽然目前的红外热像仪与红外显微热像系统在多个领域已...
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