技术编号：12458186
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光路控制反射镜装置及其实施方法，具体为一种转动中心与镜面中心重合的偏转反射镜装置及方法。背景技术近年来，随着航天工程、生物技术、微电子信息等行业的不断发展，天文望远镜、显微镜、高能激光加工设备等精密光学系统在其中的应用日益广泛，因此对精密光路控制提出了更高的使用需求，具体在光路的跟踪瞄准、抖动抑制等方面都提出了更高的使用需求。压电陶瓷作为一种能够提供微位移的精密驱动功能材料在高精度光学反射镜装置中有越来越重要的应用；而目前所应用的绝大多数压电陶瓷驱动偏转镜，其镜面转动的偏转中心与反...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。