一种二维电调镜装置的制作方法技术资料下载

技术编号:12458188

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本发明涉及光束控制技术领域技术领域,具体涉及一种二维电调镜装置。背景技术在光学系统中,为了精确控制光束的传播方向,必须对其中的光学元件进行精确地位置装调。但是受环境温度变化、结构件应力释放等因素的影响,不同的环境条件下,光学元件的理想位置并不唯一。因此,对于一些精度需求较高的光学系统,要求光学系统中必须具有角度状态可以调节的反射镜,以补偿光路因外界环境变化引起的偏差。两维快速反射镜具有响应速度快、指向精度和角度分辨力高等优点,被广泛应用于各种光路调节、校正、补偿系统中。公开号为“CN102313...
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